V oblasti vysokorýchlostných{0}}vzduchových{1}}platforiem s lineárnym pohybom, optických skenovacích platforiem a pracovných stolov so vzduchovými{2}}doštičkami na kontrolu plátkov, komplexný výkon substrátu priamo určuje plynulosť chodu vzduchových ložísk, opakovateľnosť pohybu a dlhodobú-stabilitu prevádzky. Mnohí výrobcovia zariadení opakovane porovnávajú hliníkovú zliatinu, liatinu, keramiku a rôzne kamenné materiály a väčšina z nich nakoniec vyberá čiernu žulu s vysokou{5}}hustotou ako hlavný substrát pre vzduchové ložiská. Je všeobecne známe, že žula poskytuje vynikajúce tlmenie vibrácií. Málokto si však uvedomuje, že čierna žula má viacero silných jadier, ktoré nemožno napodobniť inými materiálmi za špeciálnych prevádzkových podmienok vzduchových ložiskových systémov. UNPARALLELED sa už dlho špecializuje na prispôsobené ultra-precízne žulové komponenty a dodáva základové rámy, nosníky a pracovné stoly výrobcom vzduchových ložiskových zariadení na celom svete. Na základe bohatých praktických skúseností s projektmi analyzujeme jedinečnú hodnotu čiernej žuly pre vzduchové nosné plošiny.
Systémy vzduchových ložísk realizujú bez{0}}kontaktný pohyb na základe tenkej vrstvy-plynu pod vysokým tlakom. Drobná deformácia substrátu, mikro-vlnenie povrchu a tepelná deformácia budú priamo viesť k chveniu posúvača a kolísaniu tlaku vzduchu. Hliníková zliatina je ľahká, ale má relatívne vysoký koeficient tepelnej rozťažnosti, vďaka čomu je platforma náchylná na deformáciu pri zmenách teploty okolia. Liatina sa môže pochváliť priaznivou tuhosťou, ale počas-dlhodobej prevádzky trpí rizikom korózie, nadmernou vlastnou hmotnosťou-a obmedzenou schopnosťou tlmenia. Keramika vykazuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, no monolitické tvarovanie veľkých{9}}rozmerov je náročné s vysokými nákladmi na obrábanie. Obyčajná svetlá-žula má nerovnomerné vnútorné rozloženie minerálov a vyššiu pórovitosť, čo vedie k nedostatočnému utesneniu po povrchovej úprave, a preto nie je vhodná na nepretržité zásobovanie vzduchonosnými konštrukciami. Naproti tomu čierna žula UNPARALLELED® sa vyznačuje husto a rovnomerne usporiadanými kryštálmi s extrémne nízkou pórovitosťou. Po mimoriadne presnom lapovaní dosahuje povrch plošiny vynikajúcu tesnosť, stabilne udržuje rovnomerný vzduchový film, zabraňuje miestnemu úniku vysokotlakového plynu{15} a zaisťuje nepretržitú stabilnú prevádzku vzduchových ložísk.
Potlačenie vibrácií je nepostrádateľným indikátorom pre vzduchové ložiská. Vysokorýchlostný vratný pohyb a vonkajšie poruchy dielne vytvárajú vibrácie. Keď sa vibrácie prenesú na pracovný stôl so vzduchovým-ložiskom, destabilizujú ultra-tenký vzduchový film, zníži presnosť polohovania a rozmaže optické zobrazenie. Vibrácie pomaly upadajú a v kovových materiáloch trvajú dlhšie. Na porovnanie, čierna žula má vlastné vysoké tlmiace vlastnosti; energia vibrácií môže byť rýchlo absorbovaná vnútornými kryštálovými rozhraniami kameňa, čím sa účinne znižuje riziko rezonancie. Najmä v prípade vysokorýchlostných vzduchových ložísk na dlhé -pojazdy- môžu byť nárazové vibrácie generované počas štartovania a zastavenia rýchlo utlmené žulovým substrátom, aby bol koniec pohybu vždy stabilný. To je hlavný dôvod, prečo je čierna žula uprednostňovaná pre platformy vzduchových ložísk nasadené vo vysoko presných zariadeniach na optickú kontrolu a metrológiu polovodičov.
Rozmerová tepelná stabilita určuje kapacitu vzduchového ložiskového zariadenia pre nepretržitú--hodinovú prevádzku. V dielňach dochádza k menším denným teplotným výkyvom a nepretržitá prevádzka zariadenia tiež vytvára mierne teplo. Čierna žula má ultra-nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a jej tepelná rozťažnosť a kontrakcia pri zmenách teploty je oveľa menšia ako u kovových materiálov. Plošiny so vzduchovým ložiskom obsahujú presné mikropóry, drážky na prívod vzduchu a polohovacie referenčné povrchy. Akákoľvek jemná deformácia zmení vzduchovú ložiskovú medzeru. Prijatie substrátov z čiernej žuly minimalizuje zmeny hrúbky vzduchového filmu spôsobené tepelným posunom, znižuje posun presnosti po dlhšej prevádzke zariadenia a obmedzuje časté kalibrácie, čím sa prispôsobuje 24-hodinovej nepretržitej hromadnej kontrole v továrňach.
Vzduchové nosné plošiny zvyčajne rezervujú drážky na prívod vzduchu, závitové montážne otvory a vákuové adsorpčné zóny, čím sa ukladajú prísne požiadavky na opracovateľnosť a štrukturálnu stabilitu substrátov. Prémiová čierna žula má strednú tvrdosť a homogénnu štruktúru. Podporuje zložité obrábanie, ako je drážkovanie, vŕtanie a vyhĺbenie, a odoláva lokálnej koncentrácii napätia a praskaniu po spracovaní. Okrem toho je materiál odolný voči oxidácii- a necitlivý na vlhkosť, čím eliminuje potrebu dodatočných ochranných náterov a odstraňuje riziko kontaminácie vzduchového filmu spôsobeného odlupovaním náteru. V čistých priestoroch sa používa veľa zariadení na uloženie vzduchu. Čierna žula si zachováva stabilné fyzikálno-chemické vlastnosti a neuvoľňuje časticové nečistoty, čo je v súlade s bezprašnými{6}}výrobnými normami v polovodičovom a optoelektronickom priemysle.
Monolitické tvarovanie ďalej zvyšuje aplikačnú hodnotu čiernej žuly. Veľké nosníky vzduchových ložísk s dlhým{1}}pojazdom a mimoriadne{2}}veľké štvorcové pracovné stoly so vzduchovými ložiskami možno spracovať z jedného kamenného polotovaru, aby sa dosiahli bezšvové monolitické štruktúry. Spojované štruktúry nevyhnutne obsahujú medzery na rozhraní, ktoré ľahko spúšťajú únik plynu. Nekonzistentná tuhosť kĺbov navyše vedie k nerovnomernej deformácii pri-dlhodobom zaťažení. Monolitické komponenty z čiernej žuly sa vyhýbajú vyššie uvedeným nevýhodám vďaka vyváženej celkovej tuhosti a jednotnej referenčnej presnosti. S podporou dielne na čistenie s konštantnou{10}}teplotou a vlhkosťou triedy 10 000 vykonávame ultra{11}}precízne lapovanie a viacrozmerné{12}}testovanie presnosti, aby sme zaručili, že rovinnosť a vlnitosť pracovných stolov spĺňa prísne špecifikácie povrchu požadované pre prevádzku vzduchových ložísk.
Žiadny jednotlivý materiál nemôže vyhovovať všetkým pracovným podmienkam. Napriek tomu pre platformy na pohyb vzduchových ložísk vyžadujúce sub-mikrometrovú a nanometrovú presnosť integruje čierna žula viacero charakteristík vrátane nízkej rozťažnosti, vysokého tlmenia, nízkej pórovitosti, stabilného fyzikálno-chemického výkonu a možnosti pre-monolitické obrábanie vo veľkom meradle, čím poskytuje nenahraditeľné komplexné výhody. UNPARALLELED neustále optimalizuje technológiu obrábania čiernej žuly. Vyvíjame exkluzívne riešenia spracovania zamerané na drážky prívodu vzduchu, tesniace povrchy a montážne referencie platforiem vzduchových ložísk a poskytujeme dlhodobo -stabilné riešenia referenčných komponentov zo žuly pre špičkové-plošiny so vzduchovými ložiskami.