V špičkových-oblastiach, ako sú nano{1}}detekcia, meranie videnia, kontrola defektov polovodičov a optická interferometria, referenčná rovina inšpekčných platforiem priamo určuje dôveryhodnosť údajov pre celý systém merania. Keďže presná výroba napreduje smerom k submikrónovým a nanometrovým mierkam, kamenné plošiny spracované konvenčnými technikami už nedokážu uspokojiť požiadavky špičkových-laboratórnych testov a kontroly hromadnej{4}}výroby. Mnoho výrobcov zariadení zistilo, že aj keď sú vybavené prémiovými meracími senzormi, neustále sa budú vyskytovať systematické chyby merania, ak sa referenčná rovina nosnej plošiny odchýli. Preto sa budovanie žulových inšpekčných platforiem s rovinnosťou na-úrovni nanometrov stalo kľúčovým predmetom výskumu mnohých spoločností zaoberajúcich sa presnými kontrolnými zariadeniami.
Ultra{0}}vysoká presnosť rovinnosti sa nedá dosiahnuť jediným procesom obrábania. Dosahuje sa koordináciou spracovania surovín, kontrolou výrobného prostredia, progresívnym brúsením a presnou kontrolou. Tolerančné okno pre presnosť nanometrov je extrémne úzke; akákoľvek nedbanlivosť v procese povedie k neuspokojivým ukazovateľom rovinnosti. Väčšina fabrík na spracovanie kameňa na trhu má iba mikrónovú-spracovateľskú kapacitu a chýba im úplná{5}}možnosť riadenia presnosti procesu. S dlhoročnými skúsenosťami so špecializáciou na zákazkové ultra-presné žulové komponenty sa UNPARALLELED Group zameriava na podporu špičkových{8}}inšpekčných zariadení. Vyvinuli sme vyspelé kompletné výrobné riešenia pre nanometrové -žulové platformy, ktoré výrobcom meracích zariadení na celom svete poskytujú-dlhodobé stabilné, vysoko presné riešenia referenčných rovin.
Suroviny sú predpokladom pre dosiahnutie vynikajúcej rovinnosti. Bežná žula trpí nerovnomerným rozložením zŕn a malými prirodzenými mikrotrhlinami, ktoré pri nepretržitom opracovaní a-dlhodobej prevádzke ľahko vyvolávajú lokálne deformácie. Prijali sme vlastnoručne vyvinutý UNPARALLELED® čiernu žulu vysokej-hustoty s vysokou hustotou žuly s husto a rovnomerne rozmiestnenými horninovými zrnami. Surový kameň nevstúpi do spracovania priamo po vstupnej kontrole; namiesto toho prechádza segmentovaným starnutím. Rozšírené statické skladovanie uvoľňuje prirodzené vnútorné napätie horniny, aby sa zabránilo postupnej deformácii dosky po dokončení obrábania, čím sa zásadne zabráni degradácii rovinnosti v priebehu času. Striktne rozlišujeme metrologickú-žulu kvality od inžinierskej-žuly a nikdy nepoužívame lacné-kamenné materiály na výrobu-vysoko presných kontrolných platforiem.
Technológia brúsenia slúži ako základný postup na dosiahnutie rovinnosti nanometrov a predstavuje deliacu čiaru medzi bežnými kamenárskymi dielňami a výrobcami ultra{0}}precíznosti. Konvenčné leštenie môže dosiahnuť iba mikrónovú-presnosť. Na dosiahnutie nanometrových štandardov je potrebný postupný viacstupňový- postup brúsenia. Platforma postupne prechádza hrubým brúsením, polo{6}}brúsením, jemným brúsením a konečným ultra{7}}presným leštením. Veľkosť zrna brúsiv sa postupne znižuje, aby sa eliminovali jemné stopy po nástrojoch, ktoré vznikli pri predchádzajúcich procesoch. Všetky dokončovacie operácie sa vykonávajú v bezprašnej dielni triedy 10 000 s konštantnou-teplotou a-vlhkosťou{14}}. Dielňa je vybavená nezávislými antivibračnými základmi a izolovanými antivibračnými žľabmi, ktoré maximálne izolujú rušenie vibráciami od vonkajšej premávky a výrobných zariadení a zaisťujú stabilné podmienky brúsenia.
Čím väčšia je žulová platforma, tým ťažšie je kontrolovať rovinnosť. Pre veľké integrované inšpekčné platformy uprednostňujeme technológiu monolitického tvarovania, aby sme sa vyhli výškovým rozdielom v spojoch spôsobených montážou viacerých dosiek. Konštrukčné spracovanie vrátane vložených závitových puzdier, káblových drážok, polohovacích referenčných drážok a vákuových sacích otvorov je vopred dokončené podľa výkresov zákazníka. Všetky vŕtacie a drážkovacie práce sú usporiadané počas hrubého obrábania. Obrábanie po-dokončovaní by vyvolalo kolísanie napätia a poškodilo by ultra{5}}precíznu dokončenú rovinu. Celý proces spracovania je v súlade s medzinárodne uznávanými metrologickými normami DIN a ASME. Platformy Grade 00 a Grade 000 ultra{10}}vysoko presné je možné prispôsobiť tak, aby vyhovovali požiadavkám klienta.
Komplexná fázovaná kontrola prebieha celým výrobným pracovným tokom platforiem, a nie iba náhodným odberom vzoriek po dokončení. Po každom brúsení technici znovu skontrolujú rovinnosť pomocou importovaných-vysoko presných úrovní a laserových interferometrov. Všetky skúšobné prístroje majú platné kalibračné certifikáty vydané metrologickými inštitúciami s plne sledovateľnými nameranými údajmi. Po výrobe sa vykoná záverečné komplexné overenie. Obrobok sa udržiava v nehybnom stave pri konštantnej teplote na pozorovanie počas určitého časového obdobia. Dodávka je zabezpečená až po potvrdení žiadnej zjavnej deformácie, čo zaručuje, že dodaná žulová platforma si zachová rovinnosť na nanometrovej-úrovni počas-dlhodobej prevádzky na stránkach zákazníkov.
Ako výrobca presných komponentov, ktorý je držiteľom certifikátov systému trojitého riadenia ISO, kvalifikácií CE a RoHS, vlastníme viac ako 20 medzinárodne registrovaných patentov a ochranných známok. Udržiavame dlhodobú-projektovú spoluprácu s poprednými podnikmi v sektore polovodičového a optického merania, ako aj so zámorskými univerzitnými laboratóriami. Okrem žulových kontrolných platforiem môžeme dodať zodpovedajúce presné žulové z-zvislé dosky v osi Z, podpery v tvare L-, podstavce otočných stolov, podstavce vzduchových-ložísk a iné náhradné diely. Využívajúc našu geografickú blízkosť prístavu Qingdao, efektívne zabezpečujeme prepravu kontajnerov a skracujeme doručovacie cykly pre zahraničných zákazníkov.
Merania v nanoúrovni nemôžu tolerovať najmenšiu odchýlku referenčného údaja. UNPARALLELED dôsledne dodržiava prísne štandardy ultra{1}}precíznej výroby. Vďaka prémiovým surovinám, uzavretým-cyklom spracovania pracovných postupov a prísnym viacstupňovým{4}}systémom kontroly pokračujeme vo výrobe vysoko-stabilných žulových referenčných platforiem pre celosvetové odvetvie precíznej kontroly. Neustále optimalizujeme ultra-techniky presného spracovania, aby sme všetkým typom špičkových{8}}inšpekčných zariadení pomohli dosiahnuť stabilný a presný výkon merania.