Spoľahlivosť ultrapresného zariadenia závisí nielen od jeho presnosti na úrovni mikrónov a nanometrov pri dodaní, ale aj od schopnosti presného zadržania referenčných povrchov po rokoch výrobnej prevádzky. Ako základná nosná referencia pre polovodičovú kontrolu, laserové spracovanie a metrologické kalibračné zariadenia sú žulové plošiny tlmiace vibrácie nepretržite vystavené zaťažovaciemu tlaku, cyklickým zmenám teploty a vlhkosti v prostredí, prachu a úlomkom, kontaminácii olejom, ako aj nárazom počas zdvíhania a prepravy. Mnohí prevádzkovatelia zariadení sa zameriavajú na ladenie systémov na izoláciu vibrácií, no zanedbávajú systematickú ochranu a vedeckú údržbu referenčných povrchov. Ako čas servisu plynie, rovinnosť a kolmosť plošiny sa postupne zhoršujú, čo priamo vedie k zníženiu opakovateľnosti zariadenia a posunu kontrolných údajov a nepriamo k zvýšeniu nákladov na prevádzku a údržbu zariadenia. Hoci má žula neodmysliteľné výhody stabilných chemických vlastností a odolnosti proti starnutiu, jej referenčný povrch nie je bezúdržbový. Rozumné stratégie ochrany a postupy údržby sú rozhodujúce pre predĺženie životnosti a zachovanie pôvodnej presnosti.
Poškodenie referenčného povrchu spadá do dvoch kategórií: náhle poškodenie vonkajšími silami a chronická environmentálna erózia. Náhle poškodenie je väčšinou spôsobené kolíziami pri zdvíhaní, nárazmi tvrdých predmetov alebo priamym nárazom obrobkov. V dôsledku krehkosti žuly môže dôjsť k odštiepeniu hrán a lokálnym jamkám na pracovných plochách. Väčšina takýchto fyzických poškodení je nezvratná a lokálna oprava môže len ťažko obnoviť pôvodnú rovinnosť na úrovni nanometrov. Chronická erózia býva prehliadaná. Nahromadený suspendovaný kovový prach a brúsne triesky v dielňach postupne poškriabajú referenčné pracovné povrchy, keď sa nástroje posúvajú tam a späť. Rezná kvapalina a mazací olej sa môžu usadzovať a miešať s prachom a vytvárať odolné vrstvy nečistôt. Tepelné namáhanie vyvolané dennými a sezónnymi teplotnými cyklami spolu s dlhodobým excentrickým zaťažením zariadenia bude pomaly meniť prevádzkový stav referenčných povrchov. V mnohých prípadoch poklesu presnosti platformy hlásených používateľmi samotný kamenný materiál nezlyhá; namiesto toho sa degradácia hromadí kvôli nedostatočným denným detailom ochrany.
Preventívna ochrana má prednosť pred následnou opravou. Správne usporiadanie ochrany v počiatočnom štádiu servisu môže výrazne znížiť neskoršiu pracovnú záťaž pri údržbe. Počas inštalácie zariadenia musia byť okraje a rohy plošiny dobre zabalené, aby boli chránené pri zdvíhacích operáciách. Oceľové laná sa nesmú priamo dotýkať pracovných plôch a ostrých hrán. Počas vyrovnávania a umiestňovania je potrebné zabrániť násilnému bodovému zaťaženiu. Plošina musí byť čo najďalej od výstupov na odstraňovanie triesok obrábacieho stroja a striekacích staníc, aby sa znížilo vystreknutie triesok a chladiacej kvapaliny. Odnímateľné ochranné kryty môžu byť inštalované bez toho, aby zasahovali do pohybu zariadenia, aby chránili referenčné pracovné povrchy pred prachom a nečistotami počas vypnutia. Zaťaženia musia byť rovnomerne rozložené, aby sa predišlo riziku deformácie spôsobenému dlhodobým sústredeným bodovým napätím. Komponenty izolujúce vibrácie potrebujú pravidelnú kontrolu. Starnutie a zlyhanie podložiek na izoláciu vibrácií zosilní vplyv vibrácií na zem a nepriamo urýchli opotrebovanie referenčného povrchu.
Pri bežnej údržbe na mieste sa prijmú štandardizované postupy a metódy hrubého čistenia sú zakázané. Na odstránenie uvoľnených nečistôt sa uprednostňujú mäkké kefy a utierky bez prachu. Oceľové kefy a tvrdé škrabky sa nikdy nesmú používať na poškriabanie pracovných povrchov. Na odolné olejové škvrny možno použiť neutrálny čistiaci prostriedok v kombinácii s bezprašnou mäkkou handričkou, po ktorej nasleduje dôkladné vysušenie; kvapalina nesmie na kamenných povrchoch dlho zostať. Nikdy neudierajte ani nevyrovnávajte obrobky priamo na žulové referenčné povrchy. Takéto návyky na mieste spôsobia neviditeľné mikrozárezy a postupne zhoršia miestnu rovinnosť. Po vyčistení sa dokončí vizuálna kontrola pracovných plôch a hrán, či na nich nie sú škrabance a odštiepky, a prevádzkové podmienky sa zaznamenajú, aby sa vytvorili jednoduché súbory na obsluhu a údržbu.
Pravidelné overovanie presnosti je nevyhnutnou súčasťou údržby a nemôže sa spoliehať len na vizuálne posúdenie. Verifikačné cykly sa líšia podľa náročnosti prevádzky: ročná kontrola presnosti pre metrologicko-laboratórne prostredia; polročné overenie rovinnosti a kľúčovej kolmosti odporúčané pre prašné výrobné linky 24/7. Overenie sa musí vykonať pri stabilných podmienkach konštantnej teploty, aby sa eliminovali chyby merania spôsobené teplotnými gradientmi. Po zistení odchýlky presnosti sa musia identifikovať základné príčiny, aby sa rozlíšilo zlyhanie systému izolácie vibrácií, sadnutie základov alebo poškodenie referenčného povrchu opotrebovaním. Namiesto slepého prebrúsenia sa prijmú cielené riešenia.
Opravy a renovácie sa musia vykonávať obozretne. Opätovné brúsenie žulových referenčných povrchov je vysoko presné spracovanie a nemožno ho vykonávať na mieste. Drobné škrabance mimo účinných pracovných oblastí môžu po posúdení umožniť ďalšie používanie. V prípade rozsiahleho opotrebovania alebo vylamovania hrán na pracovných plochách nie sú bežné obrábacie dielne kvalifikované na ošetrenie. Výrobky sa posielajú späť profesionálnym výrobcom na opätovné lapovanie v dielňach s konštantnou teplotou a vlhkosťou. Úplná metrologická kontrola musí byť dokončená potom, aby sa potvrdila kvalifikovaná presnosť pred opätovným uvedením do prevádzky. Niektoré jednoduché riešenia na opravu na mieste dostupné na trhu dosahujú iba kozmetické vyplnenie a nedokážu obnoviť geometrickú referenciu mikrón-nanometrov; nesprávne použitie prinesie nové chyby rovinnosti.
Existuje všeobecná mylná predstava, že stabilný výkon žuly znamená, že nie je potrebná žiadna údržba. Žulové plošiny tlmiace vibrácie majú vlastnosti proti starnutiu a chemikáliám, ale nedokážu odolať poškodeniu vonkajšou silou a oderom. Kompletný systém údržby zahŕňa ochranu vo fáze inštalácie, každodennú starostlivosť, pravidelnú kontrolu a vedeckú rekonštrukciu. Integrácia ochrany a údržby do správy zariadení počas celého životného cyklu umožňuje žulovým platformám na tlmenie vibrácií udržiavať pôvodný referenčný výkon a poskytovať dlhodobú spoľahlivú referenčnú podporu pre ultra presné zariadenia.