1. Vysoký pomer tuhosti-k-hmotnosti pre vysoko-rýchlostnú dynamiku
Pri litografii a lepení sa komponenty musia pohybovať vysokou rýchlosťou s nulovým oneskorením. Advanced Ceramics poskytuje extrémnu tuhosť (High Young's Modulus), pričom je výrazne ľahšia ako oceľ. To znižuje zotrvačnosť, čo umožňuje rýchlejšie zrýchlenie a spomalenie bez ohrozenia presnosti polohovania v systémoch na manipuláciu s plátkami.
2. Bezkonkurenčná tepelná vodivosť a stabilita
Polovodičové procesy vytvárajú lokalizované teplo. Materiály ako karbid kremíka ponúkajú vynikajúcu tepelnú vodivosť, rýchlo odvádzajú teplo, aby sa zabránilo lokálnej deformácii. To zaisťuje, že keramické vákuové skľučovadlá a doštičky zostanú dokonale ploché, pričom si zachovávajú ohniskovú rovinu počas kritických krokov vystavenia UV žiareniu.
3. Odolnosť proti opotrebovaniu a chemická zotrvačnosť
Keramika je takmer taká tvrdá ako diamanty. Táto odolnosť proti opotrebeniu zabezpečuje, že pohyblivé časti majú neuveriteľne dlhú životnosť bez vytvárania častíc. Navyše, ich chemická zotrvačnosť ich robí kompatibilnými s drsnými leptacími plynmi a čistiacimi prostriedkami používanými pri spracovaní polovodičov-.
Porovnanie keramických materiálov
| Nehnuteľnosť | Oxid hlinitý (Al2O3) | Karbid kremíka (SiC) |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 1500 HV | 2500+ HV |
| Modul pružnosti | 350 GPa | 450 GPa |
| Tepelný stav | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
FAQ: Zodpovedané kľúčové otázky
Prečo používať SiC namiesto oxidu hlinitého? SiC má vyššiu tuhosť a lepšiu tepelnú vodivosť, aj keď je drahší.
Sú keramické časti krehké? Hoci sú krehké, ich pevnosť v tlaku je masívna, vďaka čomu sú ideálne pre presné zaťaženie.
Aké priemyselné odvetvia používajú túto keramiku? Predovšetkým polovodičový, letecký priemysel a laserové rezanie.
Môžete vyrábať keramické tvary na mieru? Áno, ponúkame zákazkové OEM keramické obrábanie pre zložité mechanické komponenty.
Aká je maximálna veľkosť? Dokážeme vyrobiť-veľké keramické konštrukčné diely až do 1000 mm alebo viac prostredníctvom segmentovaného lepenia.
Vyžaduje si keramika špeciálne čistenie? Sú vysoko odolné voči chemikáliám, vďaka čomu sa veľmi ľahko čistia pre použitie v čistých priestoroch.