Ako rozlíšiť kritériá výberu materiálu medzi polovodičovými čistými priestormi

Rastúci dopyt po polovodičových kontrolných zariadeniach, litografických zariadeniach, lineárnych motorových stupňoch a presných obrábacích strojoch spôsobil rozsiahly zmätok pri výbere žuly. Mnoho výrobcov dodáva obyčajnú žulu pre obrábacie-nástroje do čistých priestorov polovodičov, čím spúšťa uvoľňovanie častíc, vylúhovanie iónov, tepelný presný drift a kontamináciu pórov, čo znižuje výnosy výroby. Ako celo-spektrálny ultra{4}}dodávateľ presných substrátov slúžiaci pre sektory čistého aj bežného obrábania, UNPARALLELED® vyvíja kvantifikovateľné štandardy triedenia pokrývajúce zdroj rudy, fyzikálny výkon, kompatibilitu v čistých priestoroch, spracovanie a kontrolu, aby usmernil výrobcov zariadení.
UNPARALLELED používa vlastnú -vyvinutú čiernu žulu s vysokou{1}}hustotou (≈ 3100 kg/m³) pre oba druhy so samostatnými pravidlami triedenia rudy.
Všeobecná obrábacia-žula potrebuje iba kompaktnú horninu bez priechodných trhlín (hustota väčšia alebo rovná 2900 kg/m³). Menšie mikro-póry sú prijateľné; postačuje základné prirodzené starnutie. Hodí sa pre vŕtačky PCB, štandardné CMM a CNC základne, ktoré tolerujú dielenský prach a výkyvy teplôt.
Žula{0}}pre čisté priestory vyžaduje prémiovú homogénnu rudu s absorpciou vody 0,1 % alebo rovnajúcou sa 0,1 % a bez uvoľnených zhlukov kryštálov. Prechádza dlhodobým-prirodzeným starnutím a postupným uvoľňovaním konštantného-teplotného stresu, aby sa eliminovala mikro-deformácia vplyvom teplotných cyklov. Testy rádioaktivity a vylúhovania kovových iónov sú povinné, aby sa zabránilo kontaminácii plátkov. Na rozdiel od lacného mramoru alebo žuly s nízkou{8}}hustotou z malých tovární, ktoré sypú prach a nespĺňajú normy ISO 5/6 pre čisté priestory, UNPARALLELED prísne klasifikuje materiály v súlade so svojim záväzkom „Žiadne podvádzanie, žiadne skrývanie, žiadne zavádzanie“.
Fyzické indikátory sa riadia normami DIN, ASME, JIS a GB na oddelenie týchto dvoch stupňov.
Trieda obrábacieho -nástroja: lineárna expanzia Menšia alebo rovná 7×10⁻⁶/stupeň, Mohsova tvrdosť Väčšia alebo rovná 6,5, Tvrdosť Shore Väčšia alebo rovná 70, Ra 0,32–0,63 μm, v súlade s DIN876 Stupeň 0/1, so zameraním na presnosť a tuhosť.
Trieda pre čisté priestory: tepelná rozťažnosť obmedzená na 4 × 10⁻⁶/stupeň s nano leštením (Ra menšie alebo rovné 0,05 μm) na zníženie priľnavosti prachu. Nulové mikro-póry poskytujú takmer-nulovú absorpciu vody a žiadne odlupovanie častíc po utretí. Vyššie tlmenie potláča mikro-vibrácie pri umiestňovaní nanometrových plátkov, pričom deformácia sa udržiava pod 0,5 μm po 100 teplotných cykloch, aby sa zastavil dlhodobý{10} drift.
Jedinečné testy kompatibility pre čisté priestory sa vzťahujú iba na žulu{0}}pre čisté priestory:
Test emisií častíc: počítadlá častíc merajú častice s veľkosťou 0,1 μm po opakovanom utretí, s prísnymi limitmi pre produkty pre čisté priestory.
Test vylúhovania iónov: nízke uvoľňovanie kovových iónov zabraňuje skratu- doštičky a znečisteniu šošovky.
Povrchové tesnenie: špeciálna-odplyňovacia vrstva vypĺňa mikro medzery; obrábacia{1}}žula sa len jednoducho leští bez tesnenia.
Prostredia spracovania jasne rozlišujú.
Obrábacia{0}}žula sa opracúva v bežných CNC dielňach s bežnými brusivami a chladiacimi kvapalinami, hromadne-vyrába sa na štyroch taiwanských brúskach Nante pre nízko-nákladové strojové základne.
Žula{0}}pre čisté priestory je plne spracovaná v 10 000 ㎡ triede 10 000 čistej{5}}dielne s 1 000 mm hrubou anti-betónovou podlahou a 2 m hlbokými rázovými výkopmi. Používajú sa tiché mostové žeriavy a bezprašné{10}}diamantové brúsivá, zatiaľ čo 30+ ročné veteránske brúsky vykonávajú leštenie nano zrkadiel. Obrobky starnú v izolovaných čistých montážnych zónach s oveľa vyššími výrobnými nákladmi.
Diferencované viacstupňové{0}}systémy výstupnej kontroly a vysledovateľnosti umožňujú rýchlu identifikáciu.
Obrábacia{0}}žula dostáva tri základné geometrické testy (veľkosť, rovinnosť, zvislosť) prostredníctvom štandardných meradiel Mitutoyo s jednoduchými rozmerovými správami.
Žula{0}}pre čisté priestory sa podrobuje úplnému vysledovateľnému testovaniu vrátane emisií častíc, vylúhovania iónov, absorpcie vody a tepelnej deformácie. Meracie zariadenia, ako sú číselníkové meradlá Mahr 0,5 μm, laserové interferometre Renishaw a hladiny WYLER, sú vysledovateľné do provinčných a mestských metrologických inštitútov. Každý obrobok nesie jedinečný sériový kód, v ktorom sú uložené záznamy testov celého životného cyklu, aby prešiel prísnymi auditmi dodávateľov polovodičov.
Spoločnosť UNPARALLELED, vybavená trojitým systémom ISO, certifikáciou CE a viac ako 20 globálnymi patentmi, dodáva dva druhy žuly po celom svete. Produkty pre obrábacie-nástroje slúžia výrobcom Bosch, THK, HIWIN a domácim výrobcom CNC; Substráty pre čisté priestory-podporujú Samsung, Apple, Akribis, STI Semiconductor a Flex pre perovskitový povlak, femtosekundovú kontrolu, AOI a röntgenové čisté línie. Výskumný a vývojový tím spolupracuje s NUS, Changchunským inštitútom optiky a globálnymi metrologickými inštitútmi na každoročnej aktualizácii štandardov klasifikácie čistých priestorov.
V súlade so zásadou kvality „Obchod s presnosťou nemôže byť príliš náročný“ a duchom „Odvážte sa byť prvý; Odvaha inovovať“ bude UNPARALLELED štandardizovať triedenie žuly, aby sa eliminovala aplikácia zmiešaných materiálov, znížila sa strata presnosti a znečistenie čistých priestorov a posunul sa globálny ultra{0}}precízny priemysel, aby splnil svoje poslanie propagovať rozvoj ultraprecíznosti{1}}.